【摘 要】
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扫描电镜主要用于样品微区形貌,结构及成分的观察和分析。扫描电镜高的分辨率,良好的景深以及简易的操作等优点,使其在材料学、物理学、化学、生物学、考古学、地矿学以及微
【基金项目】
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四川大学实验技术立项(20170212)
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扫描电镜主要用于样品微区形貌,结构及成分的观察和分析。扫描电镜高的分辨率,良好的景深以及简易的操作等优点,使其在材料学、物理学、化学、生物学、考古学、地矿学以及微电子工业等领域有广泛地应用并发挥着重要作用。该文结合多年的扫描电镜测试经验介绍了扫描电镜的基本原理、构造、优势以及在实际中的应用,为扫描电镜的初学者及从业者全面了解和使用扫描电镜提供一定的帮助。
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