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采用电弧离子镀制备不同氧含量的Cr-Al-Si-O-N涂层，研究氧含量对纳米复合涂层的组织结构和力学性能的影响。结果表明：随着氧氮流量比从0增加到25%时，涂层中的氧含量从0增加到51.8%（摩尔分数），而氮含量从33.5%逐渐减少到9.8%；CrAlSiON涂层主要以面心立方结构的（Cr,Al）N固溶体形式存在，其择优取向为（111）和（200）。随着氧含量的增加，涂层的硬度呈先增加后减小的趋势；当氧氮流量比为10%时，硬度达到最大值3349 HK。由于氧化物的存在，含氧涂层在高温高速的摩擦中表现出优异