论文部分内容阅读
使用X射线衍射仪分析样品，测试角度误差的大小影响着分析结果的准确性，而样品装调误差会导致测试角度误差。本文系统分析了样品装调对测试角度误差的影响。结论是，转动误差和偏心误差对测量误差影响较大，一般需要校正；俯仰误差对测量结果影响较小，一般不用校正。实验表明，通过校正样品装调后的转动误差和偏心误差，可以将测量角度随机性误差控制在0．006°（2θ）以内，并将周期厚度为17nm左右的[Mo／Si]多层膜的测试周期厚度精确到0．1nm，为极紫外区高精度膜厚控制提供了保证。