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市调公司VLSI Research表示，一般认为今年半导体制造设备市场增长缓慢，但5月全球IC制造设备订单出货比却从4月的0．82升至0．91。同时，全球IC工厂的产能利用率也从4月的84．3％升至86．3％。5月份全球IC制造设备的订单额为38．4亿美元，比4月微升3％。全球IC制造设备出货额比4月减少7％，为42．3亿美元。