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离子—C60相互作用及其对C60／Si异质结光电特性的影响

来源 :太阳能学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wodexuehao

【摘 要】

：

用离化团簇束（ＩＣＢ）沉积法制备了Ｃ６０薄膜。ＸＲＤ测试表明，膜呈多晶结构，原位电阻测试表明，膜的室温电阻率超过１０＾３Ωｃｍ，具有负的电阻温度系数。用８０ｋｅＶｐ，ＢＢｒ３，Ａｒ和Ｈｅ对Ｃ６０膜作剂量范围为０－１０＾１４ｃｍ＾－２离子注入，Ｃ６０膜的电阻率随注入剂量的增

【作 者】

：

雷园园 傅德君 

【机 构】

：

武汉大学理学院加速器实验室

【出 处】

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太阳能学报

【发表日期】

：

1999年1期

【关键词】

：

离化团簇束沉积 光电性质 碳60/硅 异质结 C60  ionized cluster beam deposition photoelectric proper 

【基金项目】

：

国家自然科学基金

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用离化团簇束（ＩＣＢ）沉积法制备了Ｃ６０薄膜。ＸＲＤ测试表明，膜呈多晶结构，原位电阻测试表明，膜的室温电阻率超过１０＾３Ωｃｍ，具有负的电阻温度系数。用８０ｋｅＶｐ，ＢＢｒ３，Ａｒ和Ｈｅ对Ｃ６０膜作剂量范围为０－１０＾１４ｃｍ＾－２离子注入，Ｃ６０膜的电阻率随注入剂量的增加而下降，ｐ注入使膜呈ｎ型电导，离子与Ｃ６０团簇的相互作用导致Ｃ６０分裂，并使膜表面非晶化，在沉积过程中溅射掺Ａｌ得到Ｐ型Ｃ６０

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