【摘 要】
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以HNO3为催化剂,用正硅酸乙酯(TEOS)溶胶-凝胶工艺制备纳米多孔二氧化硅薄膜。较详细地研究了工艺参数乙醇/TEOS摩尔比对溶胶性能的影响.结果表明,随着乙醇/TEOS摩尔比的增大
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以HNO3为催化剂,用正硅酸乙酯(TEOS)溶胶-凝胶工艺制备纳米多孔二氧化硅薄膜。较详细地研究了工艺参数乙醇/TEOS摩尔比对溶胶性能的影响.结果表明,随着乙醇/TEOS摩尔比的增大,溶胶粘度减小,凝胶时间变长,胶体粒径有变小趋势。
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