【摘 要】
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论述了考夫曼离子源中两种磁场结构的特点。在采用多极磁场的离子源中,由于放电室内低磁场区的存在,可获得均匀性好的离子束流。采用环形永久磁体改进设计了考夫曼离子源的多
【机 构】
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合肥工业大学机械与汽车工程学院真空技术与应用工程中心,合肥工业大学机械与汽车工程学院真空技术与应用工程中心,合肥工业大学机械与汽车工程学院真空技术与应用工程中心,合肥工业大学机械与汽车工程学院真空技术
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论述了考夫曼离子源中两种磁场结构的特点。在采用多极磁场的离子源中,由于放电室内低磁场区的存在,可获得均匀性好的离子束流。采用环形永久磁体改进设计了考夫曼离子源的多极磁场,简化了磁路结构。运用Ansoft软件对多极磁场进行了数值模拟,结果分析表明设计是可行的,为该类型离子源的磁路优化设计提供了理论依据。
The characteristics of two magnetic field structures in Kaufman ion source are discussed. In the ion source using a multipolar magnetic field, a uniform ion beam current can be obtained due to the presence of a low magnetic field in the discharge chamber. The use of annular permanent magnets to improve the design of the Kaufman ion source multipole magnetic field, simplifying the magnetic circuit structure. Ansoft software was used to simulate the multi-polar magnetic field. The result shows that the design is feasible and provides a theoretical basis for the optimal design of the magnetic circuit of this type of ion source.
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