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光学镀膜用大束密均匀区离子源
光学镀膜用大束密均匀区离子源
来源 :光学仪器 | 被引量 : 0次 | 上传用户:strengthandhonor
【摘 要】
:
介绍一个达用于光学镀膜用的直径为φ120mm的大束密均匀区离子源的结构设计及性能参数,并地影响束密均匀性的因素进行了讨论。
【作 者】
:
况园珠
郑保民
等
【机 构】
:
中国科学院空间科学与应用研究中心
【出 处】
:
光学仪器
【发表日期】
:
2001年5期
【关键词】
:
离子源
束流密度
均匀性
光学薄膜
离子束辅助镀膜
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介绍一个达用于光学镀膜用的直径为φ120mm的大束密均匀区离子源的结构设计及性能参数,并地影响束密均匀性的因素进行了讨论。
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