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Zn0.85Co0.15O薄膜的制备及其结构分析
Zn0.85Co0.15O薄膜的制备及其结构分析
来源 :真空科学与技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:shifter_2009
【摘 要】
:
用电子束蒸镀方法在(100)单晶Si衬底上,生长Zn0.85Co0.15O薄膜,并研究了衬底温度对薄膜质量的影响,结果表明当衬底温度为400 ℃时,外延膜取向性最好,且其(002)衍射峰半高宽最
【作 者】
:
李爱侠
苏凤莲
周圣明
刘艳美
赵宗彦
【机 构】
:
安徽大学物理系
【出 处】
:
真空科学与技术
【发表日期】
:
2003年5期
【关键词】
:
电子束反应蒸镀
Zn0.85Co0.50薄膜
衬底温度
微结构
E-beam evaporation
Zn0.85Co0.15O film
Substrate
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用电子束蒸镀方法在(100)单晶Si衬底上,生长Zn0.85Co0.15O薄膜,并研究了衬底温度对薄膜质量的影响,结果表明当衬底温度为400 ℃时,外延膜取向性最好,且其(002)衍射峰半高宽最窄(为0.4834°).
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