【摘 要】
：
微机械陀螺的核心技术是微弱柯氏力的检测,而常规的微弱柯氏力检测水平已达到极限.本文设计了一款新颖的基于隧道磁阻效应检测的面内微陀螺结构,利用隧道磁阻效应的高灵敏特
【机 构】
：
中北大学微系统集成研究中心,中北大学仪器与电子学院,中北大学仪器科学与动态测试重点实验室
【基金项目】
：
国家自然科学基金面上项目(61571405)
论文部分内容阅读
微机械陀螺的核心技术是微弱柯氏力的检测,而常规的微弱柯氏力检测水平已达到极限.本文设计了一款新颖的基于隧道磁阻效应检测的面内微陀螺结构,利用隧道磁阻效应的高灵敏特性来实现微弱柯氏力的高灵敏检测.阐述了隧道磁阻微陀螺的工作原理,分析了微陀螺的动力学方程,完成了微陀螺结构设计、工艺加工及测试.测试结果表明:微陀螺驱动方向和检测方向谐振频率分别为6 853Hz和6 854Hz,与理论仿真基本一致;微陀螺驱动方向Q值为571.1,检测方向Q值为527.3,结构灵敏度为15.3nm/°/s.
其他文献
羊肉汤是旧成都人的一种间食,冬季则成了一些人家的早餐。售羊肉汤者多为回民,也有汉人。那时凡卖羊肉汤者几乎都售油条,也有自带白面锅魁去吃的。食者往往是将油条或锅魁扯
根本上说,艺术教育始终是人的教育,因此“以人为本”应该是艺术教育课程的宗旨所在。本文从艺术实践课程的必要性和可能性出发,通过对艺术实践课程的非功利性、人文性、启发
介绍了一种周期增量抛物线数控插补方法，该方法能够进行跨象限地抛物线加工，其插补计算误差小于半个最小插补单位，抛物线一次插补长度可达８０ｍ，插补进给苛以自动实时调整。设计了抛物
借助奇异函数和叠加法，导出了带有奇异函数的三弯矩方程。其特点是选择中间支承处梁内弯矩作为多余力，利用奇异函数将弯矩方程写成一个数学表达式，并根据卡氏定理，将方程中的自由
ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技
ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技
随着我国的农业的快速发展,传统型农业的发展弊端在不断暴露,现代化的农业的发展趋势势在必行,低碳农业以其环境友好型为依托,以减少碳排放量为根本,是一项持久而又极具难度
目前,企业面临的市场和环境有了巨大的变化,培养企业的竞争优势和核心能力已经成为企业是否能够生存与发展的关键.企业政工管理工作是企业的基础性工作,应该发挥企业政工的优
主要讨论了网络中由于网络流量分布不平衡而造成网络拥塞的问题.在基于MPLS的流量工程中,以优化链路带宽使用率为主要考察目标,提出了一种新的静态路由算法.同时用计算机仿真
佛教寺院是中国古代建筑的一种重要类型,它对中国建筑的发展有着重大的影响。论文主要对新建仿古佛寺的总体规划和单体建筑设计进行探讨,分别对不同的朝代风格、不同的地域风