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广州有色金属研究院研究开发出二元氮化物、多元多层膜和卒征超硬膜等多种类型的机械功能硬质薄膜，文中对其研发的膜层及其性能和应用进行了归纳和总结．
机械功能硬质薄膜的研究及应用
【摘 要】
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广州有色金属研究院研究开发出二元氮化物、多元多层膜和卒征超硬膜等多种类型的机械功能硬质薄膜，文中对其研发的膜层及其性能和应用进行了归纳和总结．
【机 构】
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广东省工业技术研究院（广州有色金属研究院）
【出 处】
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材料研究与应用
【发表日期】
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2011年1期
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