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<正> 微电子学发展逻辑一切技术的发展,都要受该技术自身发展逻辑的约束。硅微电子技术(以下简称硅技术)是一种通过一系列的微细加工方法,将电子器件嵌镶在硅衬底上,并互连成电子功能的技术。从方法论上讲,实质上是'硅上印制电路'
复合功能电子学
【摘 要】
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<正> 微电子学发展逻辑一切技术的发展,都要受该技术自身发展逻辑的约束。硅微电子技术(以下简称硅技术)是一种通过一系列的微细加工方法,将电子器件嵌镶在硅衬底上,并互连成
【机 构】
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东大-华晶无锡微电子应用研究所
【出 处】
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科学
【发表日期】
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1995年4期
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