【摘 要】
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描述采用薄膜溅射系统制作以ＳｎＯ~２为主的酒敏元件。给出了对元件灵敏度、选择性、响应恢复时间、抗干扰能力及重复性等测试结果，并以酒敏元件为核心，组装了乙醇气氛浓度测报传感器
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描述采用薄膜溅射系统制作以ＳｎＯ~２为主的酒敏元件。给出了对元件灵敏度、选择性、响应恢复时间、抗干扰能力及重复性等测试结果，并以酒敏元件为核心，组装了乙醇气氛浓度测报传感器。
Describe the use of thin film sputtering system to produce SnO ~ 2-based wine-sensitive components. The test results of the sensitivity, selectivity, response recovery time, anti-interference ability and repeatability of the device are given. The ethanol sensor is assembled with the alcohol sensor as the core.
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