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调制辐射体的可见和近红外区域的辐射光谱与光伏电池吸收光谱的匹配是开发高性能热光伏电池技术的关键.采用电子束蒸发在单晶硅衬底上制备金属Er薄膜并进行后氧化处理制备Er2O3薄膜型辐射体.X射线衍射结果表明薄膜结晶良好,且Si基底对Er2O3薄膜的晶体结构没有显著影响.X射线光电子能谱拟合结果表明薄膜中Er元素和O元素符合Er2O3的化学计量比.高温近红外光谱测试结果表明,样品在1550 nm左右出现了明显的Er~（3＋）离子的特征辐射峰,这与GaSb光电池的吸收光谱相匹配.