【摘 要】
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本文报道了GaAs常γ电调变容管材料的研究.文中分析了GaAs单晶衬底的质量对外延层表面形貌和外延层-衬底间界面状态的影响;研究了外延工艺条件与外延层浓度分布的关系;讨论了
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本文报道了GaAs常γ电调变容管材料的研究.文中分析了GaAs单晶衬底的质量对外延层表面形貌和外延层-衬底间界面状态的影响;研究了外延工艺条件与外延层浓度分布的关系;讨论了外延层载流子浓度分布对器件C-V特性的影响.文中还给出了材料的制管结果.
In this paper, we report the research on the GaAs constant γ electric capacity tube material. In this paper, the influence of the quality of GaAs single crystal substrate on the surface morphology of the epitaxial layer and the state of the interfacial layer between the epitaxial layer and the substrate is studied. The relationship between the concentration distribution of the layer and the effect of epitaxial layer carrier concentration distribution on the CV characteristics of the device is also discussed.
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