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超光滑表面在现代光学领域的应用愈来愈广泛,相应的超光滑表面加工技术也就成为超精密加工技术的重要组成部分。介绍了超光滑表面的特点,对其加工技术进行了分类比较,认为非接触式加工方式是获得超光滑表面的理想方法。对国内外现有超光滑表面加工技术的发展进行了归纳总结,详细阐述了各种技术的加工原理、加工精度及应用范围等。指出了国内超光滑表面加工技术与国际先进水平相比存在的差距,并分析了超光滑表面加工技术的发展趋势。