铁电厚膜溶胶-凝胶法的制备与探讨

来源 :河北师范大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liuwu123123
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随着微电子机械系统和集成光学等应用的发展,铁电厚膜及其溶胶一凝胶法的制备越来越受到人们的关注.结合研究组的科研工作,介绍了铁电厚膜溶胶一凝胶法的制备过程以及采取的一些措施,并对铁电厚膜研究中的一些主要相关问题进行了讨论.
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