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美国普林斯顿大学的研究人员研制出了一种直接将纳米图案刻蚀在衬底上的并行工艺。他们用一台激光器来捕获微透镜阵列，用另一台激光器以均匀尺寸和15nm的相对定位精度来制造100nm的结构。该方法能制造任意的纳米图案。
纳米刻蚀术产生任意图案
【摘 要】
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美国普林斯顿大学的研究人员研制出了一种直接将纳米图案刻蚀在衬底上的并行工艺。他们用一台激光器来捕获微透镜阵列，用另一台激光器以均匀尺寸和15nm的相对定位精度来制造10
【出 处】
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激光与光电子学进展
【发表日期】
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2009年4期
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