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报道了采用ＣＶＤ方法制备Ｍｏ２Ｃ膜的方法，在实验上证实了Ｍｏ２Ｃ膜的化学反应机制包括Ｍｏ（ＣＯ）６的分解和Ｍｏ的碳两个过程，根据自由能极小原理对薄膜各组分的含量与沉积温度的关系作了计算，计算值的变化趋势与测量值基本一致。
CVD方法制备Mo2C膜的化学反应机制和组分含量的热力学计算
【摘 要】
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报道了采用ＣＶＤ方法制备Ｍｏ２Ｃ膜的方法，在实验上证实了Ｍｏ２Ｃ膜的化学反应机制包括Ｍｏ（ＣＯ）６的分解和Ｍｏ的碳两个过程，根据自由能极小原理对薄膜各组分的含量与沉积温度的关系作了计算，计算值的变化趋势与测
【机 构】
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西南师范大学物理系,西南师范大学化学化工学院
【出 处】
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西南师范大学学报：自然科学版
【发表日期】
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1999年3期
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