高速钢表面(Ti Al)N涂层组织结构的研究

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运用空心阴极离子镀工艺在M_2钢表面沉积了(Ti,Al)N涂层,并应用SEM,XRD,TEM和XPS等方法分析了(Ti,Al)N涂层的组织结构和组份。结果表明,(Ti,Al)N为面心立方结构,其组织呈细柱状晶,晶粒平均尺寸小于0.1μm。在(Ti,Al)N组织表面有一层TiO_2氧化膜,膜厚为50nm;在(Ti,Al)N与基体界面存在一过渡层,其组成为:a-Ti和FeTi相。
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