LEC 磷化镓晶片缺陷的观察

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【摘要】

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使用STEM、SEM观察了磷化镓晶片在切割、研磨等工艺过程中引入的损伤. 切片损伤层深度约30.3 μm, 磨片损伤层深度小于20 μm. 还观察到一些磷化镓单晶锭局部表面布满麻坑,

【作者】

：

陈坚邦郑安生

【机构】

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北京有色金属研究总院,北京100088

【出处】

：

稀有金属

【发表日期】

：

1999年5期

【关键词】

：

扫描透射电镜(STEM) 扫描电镜(SEM) 磷化镓缺陷

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使用STEM、SEM观察了磷化镓晶片在切割、研磨等工艺过程中引入的损伤. 切片损伤层深度约30.3 μm, 磨片损伤层深度小于20 μm. 还观察到一些磷化镓单晶锭局部表面布满麻坑, 认为这是单晶生长时, 磷挥发造成的. 同时离晶体表面100～150 μm范围内有镓凝聚物, 是磷挥发后造成镓过剩并聚集在一起形成的.

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