氢气的吸附式纯化技术和钯膜技术之间比较

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为了比较Aeronex Gatekeeper纯化器和钯膜技术对移除氢气中的污染物的效率。超纯的氢气需求成倍的增长是第二代硅晶,是化合物半导体制程中必须的,如硅晶体的外延,MOCVD制程和第Ⅲ-V代化合物。
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