【摘 要】
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在实际工程应用中,对材料形貌和结构变形等参量的检测是必不可少的,而且往往需要进行多参量同时测量。针对该背景,采用数字散斑干涉与数字条纹投影相结合的测量方法,设计了一
【机 构】
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北京信息科技大学仪器科学与光电工程学院,奥克兰大学机械工程系
【基金项目】
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北京市教育委员会科技计划面上项目（KM201511232004）,国家自然科学基金项目（51275054）
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在实际工程应用中,对材料形貌和结构变形等参量的检测是必不可少的,而且往往需要进行多参量同时测量。针对该背景,采用数字散斑干涉与数字条纹投影相结合的测量方法,设计了一种集成光路,通过在数字散斑干涉实验光路中引入一个投影设备,实现物体表面形貌和微变形的同时测量。所提出的方法具有全场非接触测量的优点,且测量光路简单、操作方便、效率高、可靠性强。该方法的形貌测量分辨率优于10μm,形变测量分辨率优于30nm。
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