【摘 要】
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影响太阳能电池发电的一个重要的因素就是太阳能级晶体硅的杂质种类以及质量,所以,检测太阳能级晶体硅中杂质就成为关键的一个环节。伴随着当今社会光伏产业的快速发展,杂质
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影响太阳能电池发电的一个重要的因素就是太阳能级晶体硅的杂质种类以及质量,所以,检测太阳能级晶体硅中杂质就成为关键的一个环节。伴随着当今社会光伏产业的快速发展,杂质检测技术也不断地进行升级改造。文章主要详细介绍了电感耦合等离子体质谱法、二次离子质谱（SIMS）法、辉光放电质谱（GDMS）法、激光电离质谱（LIMS）法并详细探讨这四种质谱法的应用原理以及特点,从而为检测太阳级晶体硅中杂质提供借鉴。
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