中子嬗变掺杂硅单晶pn结击穿特性的研究

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对采用中子嬗变掺杂(NTD)技术生产硅单晶作了研究,给出了几种不同气氛下成晶的NTD硅单晶对器件性能影响的试验结果及数据分析。
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