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系统级封装和3D互连的技术可行性及其潜力，近年来在得到了详尽的分析和业界广泛的认可。目前的热点聚集在新颖的制造和集成方案方面，它要求同时满足经济性和技术要求。尽管系统级封装和3维互连的基本原理十分相似，但其广泛的应用范围需要各种各样的制造工艺。
用于系统级封装和3D互连的圆片间及芯片一圆片的集成技术
【摘 要】
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系统级封装和3D互连的技术可行性及其潜力，近年来在得到了详尽的分析和业界广泛的认可。目前的热点聚集在新颖的制造和集成方案方面，它要求同时满足经济性和技术要求。尽管系统
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2007年3期
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