【摘 要】
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介绍了一种基于扩散硅传感器的低真空测量仪表YZ-111型压阻真空计。仪表由传感器单元、信号调理单元、A/D采集单元、中央处理单元、按键和显示单元等组成。该仪器采用进口扩
【机 构】
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北京北仪创新真空技术有限责任公司,
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介绍了一种基于扩散硅传感器的低真空测量仪表YZ-111型压阻真空计。仪表由传感器单元、信号调理单元、A/D采集单元、中央处理单元、按键和显示单元等组成。该仪器采用进口扩散硅压阻式传感器。信号被调理后由高精度数字采集系统采集、分析,直接输出数字信号。配以温度补偿技术,保证它的高精度。通过用高精度真空计校准,并与之比较,其测量结果达到预期。
A YZ-111 piezoresistive vacuum gauge is introduced based on the diffusion silicon sensor. Instrument by the sensor unit, signal conditioning unit, A / D acquisition unit, central processing unit, keys and display units and other components. The instrument uses imported diffused silicon piezoresistive sensors. Signal is conditioned by the high-precision digital acquisition system to collect, analyze, direct output digital signal. With temperature compensation technology to ensure its high precision. By using high-precision vacuum gauge calibration, and compared with the measurement results to achieve the desired.
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