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在不同粗糙度和硬度的GCr15轴承钢基体上，利用多弧离子镀技术低温（175℃）沉积TiAlCN涂层．利用扫描电子显微镜（SEM ）、AFM 、EPMA、XRD和附着力测试仪等研究了薄膜形貌和性质．结果表明：基体越平整，制备的涂层表面也就越平整；薄膜附着力随着表面粗糙度的增大而减小，在基体粗糙度为0．01μm时，薄膜附着力达到最大值42．8 N ；基体硬度越高，膜/基附着力越大，在基体硬度为835 HV0．01时，附着力达到最大值31．2 N ；在涂层中，发现了晶体结构为fcc-TiN结构，衍射图中没有Al