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电子束和热退火后处理的射频溅射沉积ZrO2—Y2O3薄膜的结构特征
电子束和热退火后处理的射频溅射沉积ZrO2—Y2O3薄膜的结构特征
来源 :核技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wblovell
【摘 要】
:
对射频磁控溅射沉积的ZrO2-12wt%Y2O3薄膜进行了电子束处理和热退火处理。通过XRD,XPS,SEM等的微观分析,研究了薄膜的相结构组成,薄膜主要组成元素的氧化态以及薄膜的形貌特征。并对以提高薄膜增韧性为目
【作 者】
:
黄宁康
汪德志
【机 构】
:
四川大学原子核科学技术研究所
【出 处】
:
核技术
【发表日期】
:
1995年1期
【关键词】
:
薄膜
后处理
结构特征
射频溅射
氧化锆
Thin film
ZrO_2-Y_2O_3
Post-treatment
【基金项目】
:
国家自然科学基金
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对射频磁控溅射沉积的ZrO2-12wt%Y2O3薄膜进行了电子束处理和热退火处理。通过XRD,XPS,SEM等的微观分析,研究了薄膜的相结构组成,薄膜主要组成元素的氧化态以及薄膜的形貌特征。并对以提高薄膜增韧性为目的而进行的后处理的方式选择作了讨论。
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