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本文采用基于量子力学的理论方法计算获得了Si-B-C-N-H-CI体系CVD过程中所有气相产物的热力学数据，包括分子在298．15K～2000K的标准摩尔热容，标准摩尔熵、标准摩尔生成焓和标准摩尔生成吉布斯自由能等，为含Si-B-C-N-H-CI元素的任意先驱体体系反应热力学研究提供了基础数据。