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本文概述了离子镀铝设备的简单结构和工作原理,以及沉积室氩气压力、基体温度、沉积速度和基体负偏压工艺参数对铝膜组织的影响。最后列举了一些离子镀铝在飞机制造工业中和其它方面的应用。
离子镀铝
【摘 要】
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本文概述了离子镀铝设备的简单结构和工作原理,以及沉积室氩气压力、基体温度、沉积速度和基体负偏压工艺参数对铝膜组织的影响。最后列举了一些离子镀铝在飞机制造工业中和
【机 构】
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西北有色金属研究院
【出 处】
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稀有金属材料与工程
【发表日期】
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1990年3期
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