65 nm的互连线工艺灵敏度分析

来源 :电子器件 | 被引量 : 0次 | 上传用户:chunling329
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
集成工艺尺寸的不断缩小使得工艺偏离效应(process variation)成为实现集成电路高成品率设计的关键。本文通过互连线工艺灵敏度分析来探讨工艺偏离效应问题。首先利用TCAD软件仿真单变量试验样本,对仿真样本数据统计3-σ值,定性分析灵敏度关系。然后用最小二乘法拟合曲线,定量分析65 nm的互连线工艺灵敏度。分析结果表明互连线寄生参数随互连线宽度变化最为显著。
其他文献
本文介绍了《工厂电气控制技术》课程教学方法 。在教学的过程中,以学生为主体,以教师为主导,运用任务驱动教学法,激发学生的学习兴趣,培养学生的动手能力、创新能力和团队合作精
徐克学金融出身,曾在复星集团任投行部总经理,为了“拯救沉迷日本动漫的儿子”转行做动画电影,创立河马动画。河马动画几次濒临破产,徐克卖车、炒股、到处借钱,终于打造出第一部在
旅游业的成功和工业、商贸的扩大化,似乎永远是区域经济发展对立的两个方面。但伊犁在两者之间的互融、促进中走出一条坦途,那就是分片重点发展,互不掣肘而又相互支撑,两者成为硬
布罗代尔是谁?中国商人潜心于胡雪岩的钻营与杰克·韦尔奇的通俗,很少有人会知道这样一位伟大的历史学家——他把人类历史理解成一部商业史,缔造现代世界的不仅是马丁·
针对SECAM制电视信号的特点,本文提供了一种的数字化解调的实现方案。完成了对解调算法的理论阐述和数学推导,并根据推导出的数学模型在Matlab平台下进行软件设计。仿真结果证
介绍了高速光纤系统中超宽带跨阻型前置放大器所采用的工艺以及最新研究进展。利用仿真技术对高速跨阻放大器设计中常采用的各种高性能技术包括峰化技术和匹配网络技术进行了
在3G直放站中,基于软件无线电的数字中频技术得到广泛应用。提出一种针对高中频信号的宽带数字中频设计,优点是减少模拟环节,降低信号失真,减小噪声,简化电路,实现数字中频带
在业界广为流传的一句话:二流企业造产品,一流企业创品牌。的确.在消费者越来越挑剔、可替代性产品越来越泛滥的环境下,想要你的产品突出重围,必须创建持久的品牌。这对那些传统品
作为传达思想,记录语言的符号,每个民族都有着自己的语言和文字,但只有汉字的书写形成了具有独立价值的艺术。一般的解释是,由于始于象形和使用毛笔的原因,使汉字具有着一定的形式
针对应用于低压电力线通信的OFDM系统具有较高的峰均比的特点,本文通过比较已有的降低峰均比的技术,提出了一种预编码与压扩技术相结合的改进方案,给出了其实现方法,并通过建