A COMPUTER SIMULATION OF HIGH-DOSE ION IMPLANTATION INTO AMORPHOUS MATERIALS

来源 :核技术：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：candyyao007

【摘要】

：

A computer program MACA was developed for simulating high-dose ion implantation into amorphous solids. The topology of amorphous solids was modelled by adjustin

【作者】

：

袁博虞福春

【机构】

：

PekingUniversity.Beijing100871China,PekingUniversity.Beijing100871China

【出处】

：

核技术：英文版

【发表日期】

：

1990年Z1期

【关键词】

：

Simulation of high - DOSE ion IMPLANTATION AMORPHOUS target TOPOLOGY modelling M

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A computer program MACA was developed for simulating high-dose ion implantation into amorphous solids. The topology of amorphous solids was modelled by adjusting the free flight path distribution between collisions, so that the radial distribution functio

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