一种MEMS同振柱型仿生矢量水听器的研制

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提出了一种结合MEMS技术、仿生原理和压阻原理的同振柱型矢量水听器,即由二维仿生水听器和声压水听器组合而成的柱体。在声学理论基础上详细介绍了该水听器的封装设计及制作过程,在国防水声一级计量站对该矢量水听器进行校准实验,实验结果表明:该同振型矢量水听器的工作频带范围为0-3kHz;X通道灵敏度-177.9dB(2kHz),Y通道灵敏度-175.4dB(2kHz),声压通道灵敏度-175.8dB(2kHz);具有很好的“8”字指向性;可承受3MPa压力。此新型MEMS同振矢量水听器适用于民用船只避障,渔业捕捞
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