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通过对高速小型复合分子泵的功能结构和相应故障特性的分析,建立了分子泵的故障树,在基本事件的故障率为模糊数的模糊故障树分析方法的基础上,应用模糊数学理论中模糊重要度分析中的中值法对各基本事件的重要度进行计算,成功解决了传统故障树理论无法解决的基本事件发生概率为非确定值的问题,并取得较好的效果。