在高温高湿下使用的金属氧化物电容式湿度传感器

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一、前言湿度的测量与控制不仅在工业领域,而且在提高生活空间的舒适性以及医疗节能等领域里的需求越来越高,因而正在大量进行开发。如果将使用的材料大致分类的话,可分成电解质类、有机物类以及金属氧化物类。各种材料的湿度变化会引起的电性能的变化 I. Introduction Humidity measurement and control are being developed in large numbers not only in the industrial field but also in the fields of improving the comfort of living space and medical energy saving. If you use the material broadly classified, it can be divided into electrolytes, organic compounds and metal oxides. Changes in the humidity of various materials will cause changes in electrical properties
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