金刚石薄膜涂层技术的研究和应用

来源 :稀有金属与硬质合金 | 被引量 : 0次 | 上传用户:fei5301821
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<正> 1955年美国的通用电气公司利用高温、高压在历史上首次成功合成金刚石。1981年,苏联和日本报道利用CVD法(化学气相沉积法)将甲烷(CH_4)和氢(H_2)的混合气体在低于latm的负压下以0.2—1.0微米/时的速度成长金刚石。近几年来,美、日等国积极开展金刚石涂层合成的研究,并开始广泛用于切削工具,耐磨零件以及电子、光学、音响设备等领域。
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