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基于MOCVD生长材料的高电流密度太赫兹共振隧穿二极管

来源 :电子技术应用 | 被引量 : 0次 | 上传用户：airingyuan

【摘 要】

：

为获得高功率的太赫兹共振隧穿器件,优化设计了AlAs/InGaAs/AlAs共振遂穿二极管材料结构,在国内首次采用MOCVD设备在半绝缘InP单晶片上生长了RTD外延材料。利用接触光刻工艺

【作 者】

：

车相辉 梁士雄 张立森 顾国栋 郝文嘉 杨大宝 陈宏泰 冯志 

【机 构】

：

中国电子科技集团公司第十三研究所专用集成电路国家级重点实验室,中国电子科技集团公司第十三研究所

【出 处】

：

电子技术应用

【发表日期】

：

2019年8期

【关键词】

：

共振隧穿二极管 峰值电流密度 峰谷电流比 resonant tunneling diodes peak current density peak to vall 

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为获得高功率的太赫兹共振隧穿器件,优化设计了AlAs/InGaAs/AlAs共振遂穿二极管材料结构,在国内首次采用MOCVD设备在半绝缘InP单晶片上生长了RTD外延材料。利用接触光刻工艺和空气桥搭接技术,制作了InP基共振遂穿二极管器件。并在室温下测试了器件的电学特性:峰值电流密度>400kA/cm2,峰谷电流比(PVCR)>2.4。

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