【摘 要】
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介绍了国内外几种压电／电致伸缩微位移器件，并着重介绍了压电／电致伸缩微位移器在精密机械、大规模集成电路设备、生物工程、机器人等方面的超精密定位技术上的应用和发展前景。
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介绍了国内外几种压电／电致伸缩微位移器件，并着重介绍了压电／电致伸缩微位移器在精密机械、大规模集成电路设备、生物工程、机器人等方面的超精密定位技术上的应用和发展前景。
Introduced several kinds of piezoelectric / electrostrictive micro-displacement devices at home and abroad, and introduced ultra-precision positioning technology of piezoelectric / electrostrictive micro-displacer in precision machinery, large scale integrated circuit equipment, bioengineering, robotics and so on On the application and development prospects.
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