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一种新型谐振式微加速度计设计和分析
一种新型谐振式微加速度计设计和分析
来源 :微纳电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jiangmingjie
【摘 要】
:
为提高谐振式加速度计的灵敏度,设计了基于两级微杠杆机构和DETF谐振器的新型谐振式微加速度计结构;用解析法分析了加速度计灵敏度和结构各参数之间的关系,并以此对结构参数进行
【作 者】
:
何高法
唐一科
何晓平
刘世明
【机 构】
:
重庆大学机械工程学院,重庆科技学院机械系,中国工程物理研究院电子工程研究所
【出 处】
:
微纳电子技术
【发表日期】
:
2007年7期
【关键词】
:
微机电系统
微加速度计
谐振
微杠杆
MEMS
micro accelerometer
resonant
micro leverage
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为提高谐振式加速度计的灵敏度,设计了基于两级微杠杆机构和DETF谐振器的新型谐振式微加速度计结构;用解析法分析了加速度计灵敏度和结构各参数之间的关系,并以此对结构参数进行了优化设计。理论计算表明,所设计的加速度计灵敏度约为56Hz/g;由有限元仿真分析也得出了相似的结论。
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