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讨论了垂直入射与斜入射两种方式的主动式三角法的测量原理，提出在被测物面为反射表面的情况下，用斜入射主动式三角法进行距离和厚度的测量，分析了被测物表面细节形状的变化对测量结果的影响，以及在厚度测量时消除这种影响的方法。
一种应用于反射表面厚度测量的新方法
【摘 要】
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讨论了垂直入射与斜入射两种方式的主动式三角法的测量原理，提出在被测物面为反射表面的情况下，用斜入射主动式三角法进行距离和厚度的测量，分析了被测物表面细节形状的变化对测
【机 构】
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中国科学技术大学力学和机械工程系,电子工程与信息科学系
【出 处】
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中国科学技术大学学报
【发表日期】
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1998年5期
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