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期刊论文
一种应用于反射表面厚度测量的新方法
一种应用于反射表面厚度测量的新方法
来源 :中国科学技术大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:pengweimin
【摘 要】
:
讨论了垂直入射与斜入射两种方式的主动式三角法的测量原理,提出在被测物面为反射表面的情况下,用斜入射主动式三角法进行距离和厚度的测量,分析了被测物表面细节形状的变化对测
【作 者】
:
缪泓
刘献俊
【机 构】
:
中国科学技术大学力学和机械工程系,电子工程与信息科学系
【出 处】
:
中国科学技术大学学报
【发表日期】
:
1998年5期
【关键词】
:
三角法
厚度测量
反射表面
被测物体
active trigonometry
thickness measurement
reflective surfac
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讨论了垂直入射与斜入射两种方式的主动式三角法的测量原理,提出在被测物面为反射表面的情况下,用斜入射主动式三角法进行距离和厚度的测量,分析了被测物表面细节形状的变化对测量结果的影响,以及在厚度测量时消除这种影响的方法。
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