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混合红外焦平面倒装焊工艺模拟实验
混合红外焦平面倒装焊工艺模拟实验
来源 :红外技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:pianolaz
【摘 要】
:
运用蒸Al、镀In、光刻技术,在InSb、HgCdTe和Si片上制成雨维In柱电极,完成两维列阵模拟互连工艺。
【作 者】
:
田种运
孙娟
【机 构】
:
昆明物理研究所,昆明物理研究所
【出 处】
:
红外技术
【发表日期】
:
1990年4期
【关键词】
:
红外探测器
焦平面
焊接
模拟实验
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运用蒸Al、镀In、光刻技术,在InSb、HgCdTe和Si片上制成雨维In柱电极,完成两维列阵模拟互连工艺。
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