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本文用X射线衍射、扫描电子显微镜、透射电子显微镜、反射高能电子衍射等方法,测定了平面直流磁控反应高速率溅射 ZnO 薄膜的显微结构。实验观察到三种不同的表面结构:6mm 对称结构、非晶态以及非6mm 对称结构。衬底材料对 ZnO 薄膜 c 轴取向具有很大影响。ZnO 在玻璃衬底上为[0001]取向,在金膜上为[0001]取向。薄膜柱状结构横向为单一晶粒。纵向由于应力的存在为多晶结构。晶粒之间晶界层不到1nm 量级。相交晶粒 c 轴取向基本一致,a、b 轴取向不同。