LASER LIFT-OFF OF GaN THIN FILMS FROM SAPPHIRE SUBSTRATES

来源 :金属学报:英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:cychenying2007
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Gallium Nitride film was successfully separated from sapphire substrate by laser radi-ation. The absorption of the 248nm radiation by the GaN at the interface results inrapid thermal decomposition of the interfacial layer, yielding metallic Ga and N2 gas.
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