微电子行业工艺冷却水的热能回收

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对某微电子厂房的工艺冷却水、纯水的工艺现状和运行数据进行分析,提出在冬季用工艺冷却水回水余热预热纯水原水,这样即节省了冬季用于预热纯水原水的蒸汽,又减少工艺冷却水系统的冷冻水用量,取得一举两得的节能效益。
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