干涉测量波面重构DCT算法研究

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采用一种空间移相干涉仪测量凹形非球面反射镜光学表面, 使用偏振元件和多幅图像同步采集实现移相, 并对测量得到的干涉条纹采用基于离散余弦变换的相位解包裹算法, 对不连续相位分布采用非加权的最小二乘法进行优化目标函数, 最终重构出被测光学表面的面形。这种结构形式的干涉仪具有一定的抗振能力, 同时在数字图像处理上优化了算法, 能够快速稳定地得到被测面形, 而且对硬件要求不高。结果表明: 这种算法能够适用于非实验室条件下的光学测量, 在一定干扰条件下可以达到较高的测量精度。
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