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2012年MEMS产品需求将占厚SOI晶圆需求量的46％，全球市场份额超过1．15亿美元。2008年5月6日Yole Developpement项目经理菲利普·鲁赛尔博士在法国说，2012年MEMS产品将占全球市场厚SOI晶圆需求量的46％，约计超过1．15亿美元。
2006—2012年厚SOI产品市场和制造商调查报告
【摘 要】
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2012年MEMS产品需求将占厚SOI晶圆需求量的46％，全球市场份额超过1．15亿美元。2008年5月6日Yole Developpement项目经理菲利普·鲁赛尔博士在法国说，2012年MEMS产品将占全球市
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
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2008年8期
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