Effects of Substrate Temperatures on the Structure and UV-shielding Properties of TiO2-CeO2 Films De

来源 :武汉理工大学学报(材料科学版)英 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sz_ydz
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TiO2-CeO2 films were deposited on soda-lime glass substrates at varied substrate temperatures by rf magnetron sputtering using 40% molar TiO2- 60% molar CeO2 ceramic target in Ar: O2 = 95: 5 atmosphere. The structure, surface composition, UV-visible spectra of the films were measured by scanning electron microscopy and X- ray diffraction, and X- ray photoelectron spectroscopy, respectively. The experimental results show that the films are amorphous, there are only Ti4+ and Ce4+ on the surface of the films, the obtained TiO2-CeO2 films show a good uniformity and high densification, and the films deposited on the glass can shield ultraviolet light without significant absorption of visible light, the films deposited on substrates at room temperature and 220 ℃ absorb UV effectively.
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