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在压印光刻中,信息的复制是难点,而模具的制造是信息复制的途径.为了获得高精度的压印模具,在实验中着重从模具材料的选择、固化剂的添加、真空压力大小、固化温度、固化时间等方面进行分析和研究.通过分析模具的表面质量,得到了压印模具制作的最佳工艺组合.
压印模具的精密制造工艺优化研究
【摘 要】
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在压印光刻中,信息的复制是难点,而模具的制造是信息复制的途径.为了获得高精度的压印模具,在实验中着重从模具材料的选择、固化剂的添加、真空压力大小、固化温度、固化时间
【机 构】
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西安交通大学先进制造技术研究所
【出 处】
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精密制造与自动化
【发表日期】
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2003年1期
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