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高栅压电子注入损伤对产生电流的影响

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yangyan215076379
【摘 要】
：
用反向GD法研究了高栅压应力下的LDD nMOSFET中的损伤情况．发现这种应力下产生电流峰值随着应力时间的增大变小，峰值变小和氧化层中负陷阱电荷增大的趋势一致．峰值变小是由于应
【作 者】
：
陈海峰 郝跃 马晓华 
【机 构】
：
西安电子科技大学微电子学院
【出 处】
：
半导体学报
【发表日期】
：
2008年5期
【关键词】
：
产生电流 高栅压应力 陷落电子 generation current high gate voltage stress trapped electron 
【基金项目】
：
国家自然科学基金资助项目（批准号：60376024）
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用反向GD法研究了高栅压应力下的LDD nMOSFET中的损伤情况．发现这种应力下产生电流峰值随着应力时间的增大变小，峰值变小和氧化层中负陷阱电荷增大的趋势一致．峰值变小是由于应力中氧化层陷阱电子起主导作用，从而减小了漏电压的有效作用，使得产生率最大值变小．应用这种新模型定量得出了影响漏电压的等效电荷密度．
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